机床精度是一项十分重要的标志，现代数控机床集合了电子计算机、伺服系统、自动控制系统、精密测量系统及新型机构等先进技术，能够加工形状复杂、精密、小批量零件，并且具有加工精度高、生产效率高、适应性强等特点。 在机床的精度从微米级到纳米级的发展历程中，有三项关键技术无法回避，这三项技术也是纳米精度机床的研究门槛。刘炳业分析称，其中一项技术是无迟滞的轴承技术，迟滞现象在机械系统中大量存在，迟滞现象不仅严重影响机床溜板的运动定位精度和重复定位的精度，也影响运动的高分辨率实现，同时也影响精密零件的加工形状精度以及表面粗糙度。而静压轴承技术可以很好地解决机械迟滞的现象，并且可以均化几何误差，在超精密机床中得到大量应用。静压技术在过去的十年时间里取得了重大进展，自补偿的反馈技术更为成熟。以流量控制的节流技术使静压轴承的刚度得到很大程度的提升，使超精密机床加工的材料硬度不断提高。